Vzácné ultrafialové záření
Nahrazuju téma č. 8. pro 8. 4. 2022. Téma: Mravenčí práce
Krásnou ukázkou mravenčí práce je stroj od firmy ASML, který pomocí extrémní ultrafialové litografie dokáže na křemíku vytvořit struktury v rozlišení 3nm.
Pro mě nejzajímavější částí tohoto stoje je zdroj ultrafialového světla o specifické vlnové délce 13,5nm. Světlo o této vlnové délce vzniká z plazmy ostřelováním cínu laserem.
Spektrální účinnost takového pokusu je však jen 1%, abychom získaly desítky wattů světla o této specifické délce musíme použít inovativní přístup.
Jako řešení se ukázalo přesně trefit laserem padající kuličku cínu, čímž se vytvaruje do konkávního tvaru, to zvětší spektrální účinnost. Vytvarovaná kulička se vypaří větším laserem za produkce záření.
- Pro psaní komentářů se přihlaste.
Komentáře
Tak to je opravdu úžasné.
Tak to je opravdu úžasné. Navíc multitématické drabble - při čtení mě napadla postupně témata Na hraně (UV a RTG), Rejžujeme(to procento zisku), a hlavně hned na začátku V tom musí být ještě nějaká vychytávka (no, jiné slovo jako první) - nevíš, jak dosáhnou s 13,5 nm zdrojem 3 nm rozlišení? Difrakční kritérium říká dvojnásobek - toto nějak ošidit jde, ale po ránu mě to nenapadá. Skvělé drabble.
Ahoj!
Ahoj!
Používá se na to speciální optika a takový trik s vícenásobnou expozicí šablony.
Rozlišení pro litografii se určuje podle Rayleigho rovnice:
Rozlišení = k1 • λ / NA
Kde: λ-vlnová délka světla, NA-numerická apertura (jak moc světla dokáže optika pochytat), k1-konstanta různých fyzických limitů litografie
Popravě sám moc nevím jak to jednoduše podat, ale je k tomu naprosto perfektní video tady: https://www.youtube.com/watch?v=en7hhFJBrAI&ab_channel=Asianometry
Díky. Numerická apertura by s
Díky. Numerická apertura by s tím v případě inverze zakouzlit mohla. Na video se podívám.
To je teda úžasné zařízení.
To je teda úžasné zařízení.
:O Páni.
:O Páni.
Bodování
Toto drabble má 141/142 slov (podle toho, zda se "1%" čte "jednoprocentní" nebo "jedno procento"), pokud za něj chceš dostat bod, oprav ho a pošli odkaz na opravené drabble na mail sos.hp.ff@gmail.com. Do předmětu zprávy prosím uveď: Oprava bonusu č. 3